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高精密勻膠機(jī)

簡(jiǎn)要描述:EZ6高精密勻膠機(jī)在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EZ6
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-21
  • 訪  問(wèn)  量:2457
詳情介紹

產(chǎn)品介紹:

名     稱:高精密勻膠機(jī)

型     號(hào):EZ6

原產(chǎn)地:美國(guó),USA

應(yīng)   用:EZ6高精密勻膠機(jī)在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

產(chǎn)品概述:

  EZ6被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制,5寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡(jiǎn)單易用。EZ6勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
  EZ6設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用,程控操作,且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過(guò)渡艙內(nèi)進(jìn)出,具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì),進(jìn)行嵌入式安裝,與手套箱進(jìn)行配合。

EZ6性能參數(shù):

l  支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圓晶)

l  速度可調(diào)范圍:100-10000rpm

l  加速度可調(diào)范圍:100-30000rpm/s

l  轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

l  轉(zhuǎn)速精度:<±5rpm

l  可編程10組10步程序

l  寬電壓輸入:AC100-230V

EZ6產(chǎn)品特點(diǎn):

l  100W 直流無(wú)刷電機(jī),PLC 控制

l  5”全彩觸摸屏

l  系統(tǒng)中英文可選

l  帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口,可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能

l  HDPE 內(nèi)腔,SUS 外殼,耐溶劑PC 透明蓋

l  真空互鎖及蓋子開(kāi)關(guān)互鎖安全功能

產(chǎn)品外型尺寸:

    358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

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